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Home 產業快訊

2022筑波科技分享WBG半導體材料測試挑戰與方案

作者 孟樺 林
2022 年 9 月 26 日
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工研院材化所邱國創副所長(左)、筑波科技許深福董事長(右)合影

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經濟部工業局委工業技術研究院,依行政院循環經濟推動方案,建構循環技術暨材料創新研發專區,以延攬國際專家,培育研發人才為目的。本次材料國際學院辦理「循環低碳碳化矽晶圓製程技術創新講座」,邀請碳化矽晶圓材料與製程廠商代表與會,期望藉由此課程交流機會,提升國內低碳碳化矽長晶技術能量。許深福董事長於本次課程獲邀分享「WBG半導體材料測試挑戰與方案」,如何提升測試技術、確保製程品質、降低成本及加速產品上市時間為需克服的挑戰。

面對環保綠能意識、5G、消費性產品及電動車用的元件測試需求,筑波集團在第三半導體的材料與封裝測試擁有客製化解決方案。針對矽晶圓與材料測試分析,矽晶圓的外觀擴大,傳統測試厚度、表面粗糙度、塗層、電性能或者均勻度都是利用接觸性或破壞性進行檢測,筑波使用非破壞高頻檢測技術太赫茲(Terahertz, THz)量測,太赫茲波頻率(1011~1013 Hz)介於微波及紅外光間,又稱T波,是極長波長的IR ( Extreme IR ),可稱做 EIR /極紅外光,藉由穿透物體深度或反射式來測量晶圓的厚度、結構、光學及電學特性係數、晶型等。筑波的TZ-6000晶圓測試系統,透過反射掃描、圖形報告和 AI分析晶圓品質。

此外,筑波與國際大廠Teradyne ETS、Tektronix產品線合作,擴展測試平台能力,提供一站式的半導體MA/CP/FT測試服務,擁有高精準、高穩定度、耐高溫、高電壓(>1200V)、高電流(>100A)特性,測試的範圍廣泛 (可達到6000V、4000A),可用於量產、多項產品開發。

近20年間,台灣大約70% 網通廠商產品來自筑波集團所提供的測試方案,整合20年軟/硬體開發經驗可依照客戶需求訂製解決方案,並設有半導體工程中心(Engineering Center, EC)、太赫茲測試材料實驗室,滿足多樣測試需求,歡迎有需求之客戶聯絡進一步切磋交流。

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    工研院材化所邱國創副所長(左)、筑波科技許深福董事長(右)合影
    筑波科技
Tags: TerahertzTHzTZ-6000WBG太赫茲工研院循環低碳碳化矽晶圓製程技術創新講座筑波科技筑波醫電
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