edit post ASM推出PE2O8碳化矽磊晶系統 作者 徐 露 2024 年 10 月 8 日 新系統擴展了ASM作為業界標竿的單晶圓碳化矽磊晶系統產品組合,包括6吋PE1O6和8吋PE1O8系統,具備更高的產量、更低的擁有成本,並採用雙腔體設計,兼容6吋 ...