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Home 產業快訊

浴火鳳凰曝光機 微影打造台灣版艾斯摩爾

作者 謝 啓楊
2023 年 12 月 18 日
Reading Time: 1 mins read
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貴賓合影

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微影半導體股份有限公司(Lithography Semiconductor Equipment Co., LTD)今天在台南科學園區舉行了盛大的產品發表會,正式推出全球第一套採用LED光源投影曝光機的半導體晶片解決方案,為全球半導體產業帶來了一場革命性的突破。

這套創新的曝光機,是由微影半導體的創辦人胡德立先生領導的國際團隊,在英國自主研發的成果,經過了多年的努力和挑戰,終於在今年成功地通過了台灣半導體客戶的驗證,並獲得了預約生產的多套訂單。

胡德立先生在發表會上分享了他的創業故事。他說,他從英國伯明罕大學畢業後,就投入了曝光機的領域,並在台灣多家半導體相關設備公司工作過,學習了各種半導體製程的知識,也認識了許多一線大廠客戶。2007年台積電的研發部門提出了一個特殊的玻璃基材產品,需要用到曝光機,並且承諾如果胡德立能做出台灣曝光機,台積電就會買一百台。雖然最後並未取得這個龐大的訂單,但是這個機會激發了胡德立的夢想,決定成立了台灣半導體設備股份有限公司,也就是後來的里梭科技,從曝光機維修翻新服務開始,投入曝光微影系統的製造研發。

胡德立的研發之路一路走來其實並不順遂,遇到了許多困難和阻礙,包括資金、人才、技術、政策等方面的問題,甚至還曾經到中國大陸設廠,但卻受到了料想不到的政治阻礙,導致功敗垂成。胡德立說,他在最低潮的時候,仰賴信仰和毅力,在2019年疫情的重重打擊下並沒有放棄,終於在2021年得到了新的資金挹注。胡德立決定到英國設立研發中心,集中所有的研發能量,開始設計製造全球第一套採用LED光源投影曝光機的半導體晶片製造解決方案,並且使用全新的自製微影光學鏡頭。

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胡德立的努力最終得到了回報,在2022年底將曝光機原型機運到台灣,並成功地通過了台灣半導體客戶的驗證,取得了驚人的成果。在收獲了客戶預定的多套設備訂單後,胡德立決定今年在台灣成立微影半導體股份有限公司,並且宣布將在台灣量產製造曝光機及配套的塗布顯影及檢測設備。

微影半導體的產品發表會吸引了眾多的媒體,政府部門和業界人士的關注,他們對這套創新的曝光機表示了高度的讚賞和期待。這套曝光機的優勢如下:

  • 全球晶片生產首創採用LED紫外光源,相較於傳統使用的劇毒汞燈,能耗僅為1/100, 不僅節能,也減少了汞污染。
  • 自研高景深長焦鏡頭配合LED光源,不但照度超越汞燈系統,還可實現GHI線快速分割及合併曝光,可大幅提升曝光品質和效率,從2吋到12吋的晶圓尺寸,雙面對準系統等,適應各種半導體製程的需求。
  • 塗佈顯影、曝光、檢測三大黃光核心製程技術完全由國人主導自主研發,並將於台灣設廠生產製造,提供客製化『半導體黃光曝光生態平台』Turn-Key服務。

微影半導體的創辦人胡德立先生表示,這將是一種高效並且環保的新一代半導體生產設備,將為台灣半導體產業帶來巨大的競爭優勢和市場機會。期盼與更多的合作夥伴分享微影半導體的創新成果,共同推動全球半導體產業的發展。

關於微影半導體

微影半導體股份有限公司是一家專注於半導體晶片曝光設備的研發和製造的公司,成立於2023年,總部設於台灣,並在英國設有研發中心。微影半導體擁有一支由國際頂尖曝光機專家組成的技術團隊,並憑藉其自主研發的LED光源投影曝光機,為全球半導體產業提供了一種高效、環保、客製化的解決方案。微影半導體的願景是成為全球半導體設備的領導者,並為人類的科技進步和社會福祉做出貢獻。

  • 92140
    92140
    微影半導體工程師
    大會提供
Tags: 半導體微影半導體
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