應用材料公司推出十多年來最重要的晶圓製造平台創新方案Vistara™,專為晶片製造商提供必備的靈活性、智慧功能及永續性,以解決日益嚴峻的晶片製造挑戰。
Vistara平台的開發基礎建立在公司長期以來在半導體製造平台領域所保持的領先地位,其中包括Endura®、Producer®、Centura®和Centris®,這些平台廣獲全球各地的晶圓廠使用,且幾乎生產了所有的晶片。Vistara平台的開發時間長達四年以上,參與人員來自應用材料公司的硬體、軟體、製程技術和生態效率(ecoefficiency)設計團隊的數百名工程師。
應用材料公司半導體產品事業群總裁帕布‧若傑(Prabu Raja)博士表示:「與其前代方案一樣,Vistara平台旨在成為客戶創新、可靠和生產力的長年信賴平台。正當半導體產業在複雜性、成本、節奏和碳排放方面,面臨日益增加的晶片製造挑戰之際,Vistara的推出恰逢其時。
新推EcoTwin™軟體
應材還推出了EcoTwin生態效率軟體,並首先在Vistara平台上提供。EcoTwin軟體利用感測器數據,協助工程師監控反應室、系統和廠務區區組件的即時能源和化學品消耗情況。製程工程師藉由EcoTwin分析表上,能比較替代化學物質、配方和生產技術的碳排放影響性,以持續改善整個製程節點生命週期內的永續性,並追蹤和呈報實現永續目標的進度。
供應狀況
第一批Vistara平台已交付給所有記憶體客戶領導大廠,用於蝕刻應用。應材預期隨著晶圓製造設備業為滿足全球半導體需求而成長時,其所有主要平台的解決方案也將同步成長。