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Home 產業快訊

愛思強AIX G5+C與G10-AsP系統 獲艾邁斯歐司朗認證

作者 Thomas Chou
2023 年 2 月 15 日
Reading Time: 1 mins read
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全球領先的光學解決方案供應商艾邁斯歐司朗(瑞士股票交易所股票代碼:AMS)和半導體行業沉積設備領先供應商愛思強(AIXTRON SE,法蘭克福證券交易所股票代碼:AIXA)聯合宣佈,200mm晶圓AIXTRON G5+ C和G10-AsP系統已獲得艾邁斯歐司朗的認證,可用於滿足Micro LED應用需求。

愛思強的MOCVD系統AIX G5+ C和全新G10-AsP提供AIXTRON行星衛星式氣浮旋轉水準技術(Planetary Technology),為下一代高解析度microLED顯示幕鋪平了道路。早在2022年第一季,艾邁斯歐司朗即宣佈200mm產能增建計畫,在馬來西亞現有工廠實現LED和Micro LED產能。MOCVD系統有望協助實現Micro LED的批量生產,打造出新一代顯示應用。

艾邁斯歐司朗執行副總裁兼光電半導體業務負責人Robert Feurle表示:「愛思強和艾邁斯歐司朗保持著長期的合作關係,我們熟悉其設備的性能和品質標準。對於任務艱巨的專案,例如開發和生產適用於AsP和GaN元件的Micro LED,愛思強正是我們需要的合作夥伴。」

愛思強總裁暨執行長Felix Grawert博士補充道:「G10-AsP和AIX G5+ C已成功獲得艾邁斯歐司朗的認證,這是我們公司歷史上一個非常重要的里程碑。艾邁斯歐司朗是全球領先的LED製造商,完全有能力將全新的基礎性技術推向市場。我們正面臨著從傳統顯示技術向新型Micro LED顯示技術的重大轉變。如今,愛思強正在邁入一個潛力巨大的未來增長市場,而且我們還有一位理想的合作夥伴與我們攜手共進。」

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Micro LED具備非常顯著的優勢,例如更高的像素密度、更長的使用壽命、更高的亮度、更快的開關速度和更寬的色譜,進一步提升顯示技術。相對能耗低也是一項重要優勢,使得Micro LED技術非常適合用於下一代配備較小顯示器的消費電子設備,通常這些設備為電池提供的空間非常有限。

Micro LED有著特殊的生產要求,在其量產過程中包含一個特殊的批量轉移工藝步驟,數千個微米尺寸的LED晶片(陣列)被拾放。任何缺陷都可能導致像素壞死,使整個陣列變得無用。因此,必須使用幾乎無誤差的外延工藝,使缺陷最小化,支持高成品率和符合經濟效益的Micro LED生產。

愛思強的新型G10-AsP外延工具經過精心設計,旨在滿足這項應用的特殊需求。這項全新工具是世界首款全自動AsP反應器,提供全自動「檢測盒到檢測盒」(cassette-to- cassette)晶圓裝載以及基於原位蝕刻的清潔機制。這兩個特性結合在一起會對成品率產生顯著影響。此外,間歇式反應器技術還為愛思強系統帶來了多項優勢,每片晶圓的生產成本在當前市場上屬於最低級別,而單位潔淨室面積輸送量為最高級別。同時,該新工具擁有精確的流量和溫度控制功能,能在連續運行時保持非常好的材料均勻性。

    Tags: ams OSRAM
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