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龍華科大林宗新副教授 全球知名馬來西亞發明展三度奪金

作者 台灣發明商品促進協會
2023 年 5 月 14 日
Reading Time: 1 mins read
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龍華科大林宗新攝於馬來西亞ITEX國際發明展

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龍華科大林宗新副教授熱衷創新發明,於112年5月11-12日以作品作品「銅銠鍍層的製備方法」參加於馬來西亞吉隆坡國際會議中心舉辦之2023 馬來西亞 ITEX 國際發明展獲得金牌。

林宗新指出,銅雖然導電性佳,卻易與矽基板起化學反應而使其應用受阻,他的濺鍍銅合金薄膜研究,則考量在不使用阻障層的情況下,改將微量物質摻雜於銅鍍層中,藉此提升銅的穩定性。林宗新研究發現,在IC晶圓封裝的鍍膜過程中,導入微量物質,退火後所添加之微量物質於界面生成一反應層,此界面層可扮演類似阻障層角色,抑制銅矽化合物反應,並進一步提升銅矽化合物形成溫度。除具低電阻外,亦可簡化製程。

林宗新進一步說明,這項發明可運用在銅導線、IC晶圓與半導體封裝上緩衝層、LED元件散熱層與抗菌醫療器材上,應用很廣泛,相較於國內外使用濺鍍銅合金薄膜阻障層製程,他的研究為無阻障金屬化製程,具可簡化製程、降低製造成本特點,期待與廠商合作,進入實際製程應用。

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    龍華科大林宗新攝於馬來西亞ITEX國際發明展
    林宗新提供
Tags: 世界發明智慧財產聯盟總會WIIPA台灣發明商品促進協會TIPPA施養隆
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