SEMICON Taiwan 2022國際半導體展於14日在南港展覽館一館盛大展開,據主辦單位國際半導體產業協會(SEMI)指出,本次共700家國內外廠商參與,共計2450個攤位,規模創27年來新高。今年展出重點聚焦先進製程、異質整合、化合物半導體、車用晶片、智慧製造、永續製造、半導體資安及人才培育議題。
針對先進製程、化合物半導體和永續製造三大議題,精密環境溫控設備供應商奇鼎科技現場展出TCU-SE50製程精密溫濕度控制機組,該產品取消電熱器,使用熱回收技術,有利於溫度控制和穩定,減少設備能耗;體積較前世代縮小近7倍,佔地面積極小化,最符合晶圓6吋與8吋廠需求,確保製程良率。
除TCU-SE50,奇鼎現場亦有ESG節能產品導覽,從廠務端到製程環境,能降低半導體廠房消耗的大量能耗,亦減少碳排放量。其中製程高濃度AMC去除機組,可應用於塗佈、去光阻、蝕刻和濕式清洗的尾氣處理,較同業節能34%,去除效率高達90%以上。
奇鼎科技除深耕精密環境控制領域,重視半導體尖端產業發展,更將持續研發與拓展節能減碳產品,與國家和企業一同落實減碳目標。